物鏡的特性是光學(xué)顯微鏡的性能的決定因素之一，因此物鏡的一些參數(shù)皆會(huì)標(biāo)示在物鏡鏡頭上以便讓人辨明
除了縮小工作距離以增加目鏡與物體間的夾角外，提高光線傳播介質(zhì)的折射率也是一個(gè)方法
既然開口值決定了解析度，提高開口值便成為可研究的方向，因此把觀察物浸入高折射率的介質(zhì)中就能提高物體的鑑別率，例如水鏡以水溶液為介質(zhì)，其折射率等于1.33，油鏡以鏡油或甘油為介質(zhì)，其折射率分別為1.51及1.47，水鏡與油鏡在解析度的效能上可分別提高20%及40%。
不過溶液直接接觸到試片的方式對(duì)試片是否會(huì)造成影響有待商榷，固態(tài)的Solid Immersion Lens(SIL)便應(yīng)運(yùn)而生，它是利用Si製作的半球形透鏡直接接觸試片，因此比較適合用來觀察晶圓背面所散發(fā)的光訊號(hào)，而對(duì)于系統(tǒng)所發(fā)出的雷射訊號(hào)也可以較收斂的集中在觀察位置上
一般目鏡所偵測的光訊號(hào)加上SIL后所偵測到的光訊號(hào)

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